單溫區(qū)PE-CVD系統

產品特點：

單溫區(qū)PE-CVD系統采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū)；

可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。

技術參數

型號：TFE - 1200 - 50 - 220

設計溫度：1150℃（短期）

額定溫度：1100℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

控制精度：±1℃

爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸：Φ80*220mm

加熱區(qū)長度：220mm

恒溫區(qū)長度：80mm

加熱元件：優(yōu)質國產電阻絲

額定功率：3KW

供氣系統：

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm（可定制）

射頻電源：

①射頻功率：5-500W；

②射頻頻率：13.56MHz；

③匹配方式：自動匹配

真空系統：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等）

外形尺寸：1250*510*810mm