Semistat熱電式過程恒溫器

LAUDA - Semistat 熱電的溫度控制系統(tǒng)為等離子刻蝕工藝提供穩(wěn)定的可重復(fù)性的溫度控制系統(tǒng)。系統(tǒng)動(dòng)態(tài)地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可用在任何的刻蝕工藝中。熱電溫度控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)是基于帕爾帖原理的溫度轉(zhuǎn)換。這些原件可以實(shí)現(xiàn)快速且準(zhǔn)確的溫度控制，滿足了當(dāng)今器件生產(chǎn)尺寸越來越小的要求。

.為嚴(yán)苛的工藝提供快速且精確的溫度控制

.低能耗，沒有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)

.工業(yè)領(lǐng)域占地小，如果放置到地板下方則沒有占地空間要求

.極低的導(dǎo)熱液體填充量

.可以遠(yuǎn)程控制的通信模塊(RS-485通信協(xié)議)

上海驪葆科學(xué)儀器有限公司是多家實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)儀器領(lǐng)域歐美有名廠家中國(guó)地區(qū)代理商，主要品牌有：

德國(guó)LAUDA加熱制冷恒溫循環(huán)器，德國(guó)DIEHM玻璃反應(yīng)釜，PUR膠黏劑反應(yīng)裝置，瑞士PC-Laborsystem行星攪拌器，德國(guó)BOLA/SICCO聚四氟配件管件/干燥箱， 英國(guó)COWIE  PTFE攪拌、測(cè)溫容器等配件，HAMILTON哈美頓進(jìn)樣針、微量注射器；另有各種類型進(jìn)口高低溫水浴/油浴等多種*歐美產(chǎn)品，為實(shí)驗(yàn)儀器需求提供高質(zhì)量和專業(yè)化的系統(tǒng)解決方案！

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